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제품소개 product name BM Inspector Detail • 概要 BMInspector是, 使用自动化的显微镜和 Robot, Macro 检查机, XY Stage检查半导体 Wafer的 Macro 检查与前面/后面 Defect 检查的设备. 通过Defect 自动检查设备上获得的结果文档进行 Defect的Review也可以生成SMF 文档与AVI文档进行 Wafer 的扣除等功能的软件. • 功能简介 – 控制显微镜 – 控制Auto Loader – 控制X, Y Stage – 在实时影像上的各种测量功能 – Defect Review 功能 – Wafer 扣除功能

product name	BM Inspector
Detail	• 概要 BMInspector是, 使用自动化的显微镜和 Robot, Macro 检查机, XY Stage检查半导体 Wafer的 Macro 检查与前面/后面 Defect 检查的设备. 通过Defect 自动检查设备上获得的结果文档进行 Defect的Review也可以生成SMF 文档与AVI文档进行 Wafer 的扣除等功能的软件. • 功能简介 – 控制显微镜 – 控制Auto Loader – 控制X, Y Stage – 在实时影像上的各种测量功能 – Defect Review 功能 – Wafer 扣除功能